تحليل مسبار الأيونات هو شعاع أيون أولي عالي الطاقة يقصف سطح العينة ، ويتأرجح لإنشاء أيونات ثانوية. بعد فصل هذه الجسيمات المشحونة بواسطة محلل الكتلة ، وصلوا أخيرًا إلى الكاشف ، وبالتالي يحققون تحليلًا دقيقًا لتكوين المادة على سطح العينة.
